한벨 스크류 진공 펌프는 PS,PD, PR시리즈가 있습니다.
적용
진공코팅, 열처리, 반도체, TFT산업 적용, 청정 진공 시스템
사양
80/96/㎥/hr ~ 150/180/㎥/hr
500/600/㎥/hr~ 1500/1800/㎥/hr
조금 더 자세한 내용은 아래의 카탈로그를 참조하시기 바랍니다.
1) HANBELL PS+PD 2018
> http://www.hanbell.com/product/ps-model.pdf
2) HANBELL SEMI iPH pump
